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duv euv
2021年12月21日—DUV和EUV最大的区别在光源方案。EUV的光源波长为13.5nm,但最先进DUV的光源波只有193nm,较长的波长使DUV无法实现更高的分辨率,因此DUV只能用于制造7nm及 ...,2023年11月17日—答:DUV技术适用于传统的光刻材料,如光刻胶和硅,而EUV技术由于其极短...
DUV和EUV光刻机的区别在哪
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2023年11月17日—答:DUV技术适用于传统的光刻材料,如光刻胶和硅,而EUV技术由于其极短波长,对材料的要求更为严格,需要使用特殊的光刻材料和涂层,增加了制程的复杂性。
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